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    • 专利摘要:
    Esist ein Verfahren zum Verfüllen einesverflüssigtenMaterials in ein Loch (11h) mit einem Boden offenbart, wobei dasLoch (11h) auf einer Oberflächeeines blattförmigenTeiles (11, 11a) angeordnet ist und wobei das Verfahren die folgendenSchritte umfaßt:Dekomprimieren eines ersten abgeschlossenen Raumes (1s), der aufder einen Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) ausgebildet ist; Dekomprimieren eines zweiten abgeschlossenenRaumes (2s), der benachbart dem ersten abgeschlossenen Raumes (1s)angeordnet ist und ein verflüssigtesMaterial sammelt; Verschieben des Loches (11h) zusammen mit demblattförmigenTeil (11, 11a) zu dem zweiten abgeschlossenen Raum (2s), wobei dasLoch (11h) in dem ersten abgeschlossenen Raum (1s) dekomprimiertwird; Auftragen des verflüssigtenMaterials auf die Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) und Einfüllen desaufgetragenen verflüssigtenMaterials in das Loch (11h).
    公开号:DE102004025714A1
    申请号:DE200410025714
    申请日:2004-05-26
    公开日:2004-12-16
    发明作者:Atusi Kariya Sakaida；Keikichi Kariya Takada；Toshihisa Kariya Taniguchi
    申请人:Denso Corp；
    IPC主号:H05K3-12
    专利说明:
    [0001] Dievorliegende Erfindung betrifft eine Füllvorrichtung und ein Verfahrenzum Verfüllenvon verflüssigtemMaterial. Spezieller betrifft die Erfindung eine Füllvorrichtungund ein Verfahren zum Verfüllen vonverflüssigtemMaterial in ein Loch, welches auf einer Oberfläche eines blattförmigen Teilesangeordnet ist.
    [0002] Inder japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 2001-203437sind ein Pastenfüllverfahrenund eine Pastenfüllvorrichtungoffenbart. Die Pastenfüllvorrichtungfüllt einePaste in Form eines verflüssigtenMaterials in ein Loch, welches einen Boden nach Art eines Blindlochesaufweist (das heißt einhalb eindringendes Loch).
    [0003] 4A zeigt die zuvor erwähnte Pastenfüllvorrichtung 100.Bei der Pastenfüllvorrichtung 100, diein 4A gezeigt ist, istein Substrat 101 mit einem Blindloch 102 auf demoberen Bereich einer Basis 201 angeordnet. Das Substrat 101 wird über eine Saugöffnung 201a undeinen Vakuumaustragpfad 201b unter ein Vakuum gesetzt,so daß dasSubstrat 101 an die Basis 201 angesaugt und andieser fixiert wird. An dem Außenumfangdes Substrats 101 ist ein Rahmen 202 angeordnetund kontaktiert diesen mit Ausnahme mit einer mit Paste zu füllendenZone des Substrats 101. Auf der oberen Oberflächenseitedes Substrats 101 ist eine Vakuumdüse 205 auf dem Substrat 101 angeordnetund kontaktiert dasselbe. Ferner wird eine Paste 207 ineinem Raum gesammelt, der durch die Seitenwand der Vakuumdüse 205,der Oberflächedes Substrats 101 und der Seitenwand einer Quetschvorrichtungzum Quetschen der Paste umgeben ist. Wenn danach Luft über die Vakuumdüse 205 abgesaugtwird, werden die Vakuumdüse 205 unddie Quetschvorrichtung 204 gleichzeitig und relativ verschoben,und zwar parallel zu der Oberflächedes Substrats 101, so daß die Paste 207 indas Blindloch 102 eingefüllt wird, welches sich aufeinem Unterdruck befindet.
    [0004] Die 4B und 4C zeigen vergrößerte Querschnittsansichten,die das Verfahren zum Verfüllen derPaste 201 in das Blindloch 102 durch die Pastenfüllvorrichtung 100 erläutern. DiePastenfüllvorrichtung 100,die in 4A gezeigt ist,füllt diePaste 207 in das Blindloch 102, während dasBlindloch 102 über dieVakuumdüse 205 unterein Vakuum gesetzt wird. Daher ist die Pastenfüllvorrichtung 100 nichtmit einem Problem dahingehend behaftet, daß Luft im Boden des Blindloches 102 verbleibt,und zwar verglichen mit einem Fall, bei dem die Paste 207 indas Blindloch 102 unter atmosphärischem Druck eingefüllt wird.Hierbei verbleibt in dem Blindloch 102, welches sich aufAtmosphärendruckbefindet, Luft, da die Luft in den Boden des Blindloches 102 hineingelangt und nicht durch die Paste 207 ausgetauscht wird.
    [0005] Aufder anderen Seite befindet sich der Raum, der durch die Seitenwandder Vakuumdüse 205,die Oberflächedes Substrats 101 und die Seitenwand der Quetschvorrichtung 204 umgebenist, in einem Zustand unter atmosphärischem Druck und die Paste 207 wirdin dem Raum angesammelt. Des wird daher die Paste 207,die sich unter atmosphärischemDruck befindet, gemäß der Darstellungnach 4B abgegeben, wobeiLuft involviert ist, die in dem Raum angeordnet ist, und zwar inEinklang mit der Bewegung der Quetschvorrichtung 204. Demzufolgewird bei der Pastenfüllvorrichtung 100,die in 4A gezeigt ist,eine Blase 207v in der Paste 207 erzeugt. DiePaste 207 mit der Blase 207v wird in das Blindloch 102 gemäß der Darstellungnach 4C gefüllt. Nachdemdie Blase 207v in dem Blindloch 102 eingebrachtworden ist, kann die Blase 207v nicht bei einem späteren Prozeß beseitigtwerden. Daher wird in das Blindloch 102 mit der Paste 207, welchedie Blase 207v enthält,die Paste 207 nicht in ausreichender Weise eingefüllt, sodaß dadurchein Leitungsfehler verursacht werden kann.
    [0006] ImHinblick auf das oben beschriebene Problem ist es Aufgabe der vorliegendenErfindung, eine Füllvorrichtungund ein Verfahren zum Verfüllenvon verflüssigtemMaterial in ein Loch zu schaffen, welches auf einer Oberfläche einesblattförmigenTeiles ausgebildet und angeordnet ist, ohne daß sich eine Blase darin bildenkann.
    [0007] EinVerfahren zum Verfülleneines verflüssigtenMaterials in ein Loch mit einem Boden, wobei das Loch auf einerOberflächeeines blattförmigenMaterials angeordnet ist, umfaßtdie folgenden Schritte: Unterdruck erzeugen in einem ersten abgeschlossenenRaum, der auf der ersten Zone gebildet ist, die an einem vorbestimmtenAbschnitt der einen Oberflächedes blattförmigenTeiles angeordnet ist, wobei das Loch mit dem Boden auf der einenOberfläche desblattförmigenTeiles angeordnet ist; Erzeugen eines Unterdruckes in einem zweitenabgeschlossenen Raum, der auf der zweiten Zone ausgebildet ist, diean einem anderen vorbestimmten Abstand der einen Oberfläche desblattförmigenTeiles angeordnet ist, wobei die zweite Zone benachbart der ersten Zonegelegen ist, der zweite abgeschlossene Raum das verflüssigte Materialsammelt und wobei der Grad eines Vakuums in dem zweiten abgeschlossenenRaum niedriger ist als derjenige in dem ersten abgeschlossenen Raum;Verschieben des Loches mit dem Boden zusammen mit dem blattförmigen Materialvon dem ersten abgeschlossenen Raum zu dem zweiten abgeschlossenenRaum hin, wobei das Loch mit dem Boden in dem ersten abgeschlossenen Raumbei dem Schritt der Unterdruckerzeugung in dem ersten abgeschlossenenRaum mit Unterdruck versehen wird; Aufbringen des verflüssigtenMaterials auf die Oberflächeder zweiten Zone des blattförmigenTeiles, wobei sich das verflüssigteMaterial in dem zweiten geschlossenen Raum sammelt; und Verfüllen desverflüssigtenMaterials in das Loch mit dem Boden, wobei das verflüssigte Materialauf die Oberflächedes blattförmigenTeiles aufgebracht wird.
    [0008] Beidem zuvor erläutertenVerfahren wird in dem Loch mit dem Boden Luft evakuiert, und zwarin dem ersten geschlossenen Raum, der einen Unterdruck aufweist,bevor das verflüssigteMaterial in das Loch mit dem Boden eingefüllt wird, welches auf einerOberflächedes blattförmigenMaterials angeordnet ist. Ferner wird bei dem Schritt gemäß der Erzeugungdes Unterdruckes in dem zweiten abgeschlossenen Raum eine Unterdruckerzeugungin dem zweiten abgeschlossenen Raum entsprechend einem Grad einesVakuums vorgenommen, welcher niedriger ist als derjenige des erstengeschlossenen Raumes, wobei der zweite geschlossene Raum das verflüssigte Materialsammelt. Da der zweite abgeschlossene Raum so ausgebildet ist, daß er benachbartzu dem ersten abgeschlossenen Raum liegt, kann das Loch mit demBoden, von dem die Innenluft in dem ersten abgeschlossenen Raumevakuiert worden ist, zu dem zweiten abgeschlossenen Raum hin verschobenwerden, wobei das verflüssigteMaterial darin angesammelt ist.
    [0009] Fernerwird bei dem Schritt des Aufbringens des verflüssigten Materials, das heißt des verflüssigtenMaterials, welches in dem zweiten abgeschlossenen Raum gesammeltist, das Material auf die zweite Zone der einen Oberfläche desblattförmigenMaterials aufgebracht. Bei dem Schritt gemäß dem Aufbringen des verflüssigtenMaterials wird, da der zweite abgeschlossene Raum mit Unterdruckversehen wird, die Luft in dem verflüssigten Material, die in diesementhalten ist, auf ein Minimum begrenzt, so daß eine Blasenbildung reduziertwird. Hierbei ist die Blase in das verflüssigte Material involviert,welches auf die eine Oberflächeaufgetragen wird. Somit wird das verflüssigte Material, in welchemdie Blasenbildung reduziert ist, auf die Oberfläche des blattförmigen Teilesaufgetragen. Das verflüssigteMaterial wird in das Loch eingefüllt,und zwar bei dem Schritt gemäß dem Verfüllen desverflüssigtenMaterials. Demzufolge kann keine Blase in dem verflüssigtenMaterial zurückbleiben, welches in das Loch mit dem Boden gefüllt wird und welches auf dereinen Oberflächedes blattförmigenTeiles angeordnet ist.
    [0010] Inbevorzugter Weise verläuftdie eine Oberflächedes blattförmigenTeiles, auf welcher das Loch mit dem Boden angeordnet ist, direktvertikal nach unten, und der erste und der zweite abgeschlossene Raumsind vertikal jeweils unter der ersten und der zweiten Zone angeordnet.In diesem Fall ist der zweite abgeschlossene Raum vertikal unterdem blattförmigenTeil ausgebildet. Es wird daher das verflüssigte Material in dem zweitenabgeschlossenen Raum gesammelt und wird hoch geschöpft undauf die Oberflächedes blattförmigenTeiles aufgetragen. Daher wird das verflüssigte Material, welches sichin dem zweiten abgeschlossenen Raum gesammelt hat, nicht übermäßig verflüssigt, daß eine Blasein dem verflüssigtenMaterial involviert werden kann.
    [0011] Inbevorzugter Weise enthältder zweite abgeschlossene Raum eine Übertragungsrolle. Bei dem Schrittgemäß dem Auftragendes verflüssigten Materialsist ein Schritt gemäß dem Zuführen des verflüssigtenMaterials auf die Oberflächedes blattförmigenTeiles realisiert, und zwar in solcher Weise, daß die Übertragungsrolle in Drehungversetzt wird, so daß dasverflüssigteMaterial an der Rollenoberflächeder Übertragungsrolleanhaftet. Ferner umfaßt derSchritt gemäß dem auftragendes verflüssigten Materialseinen Schritt gemäß der Übertragungund Auftragung des verflüssigtenMaterials auf die Oberflächedes blattförmigenTeiles mit Hilfe der Übertragungsrolle.
    [0012] Indiesem Fall wird das verflüssigteMaterial, welches sich in dem zweiten abgeschlossenen Raum angesammelthat, sanft durch die Drehung der Übertragungsrolle abgeschöpft, sodaß dasverflüssigte Materialauf die eine Oberflächedes blattförmigen Teilesdurch Anhaften an der Rollenoberfläche zugeführt wird. Daher wird das Fließen desverflüssigten Materials,welches sich in dem zweiten abgeschlossenen Raum angesammelt hat,in richtiger Weise unterdrückt.Ferner wird das verflüssigteMaterial, welches der einen Oberfläche des blattförmigen Teiles zugeführt wird,sanft oder glatt durch die Rolle übertragen, so daß das verflüssigte Materialauf die eine Oberflächedes blattförmigenTeiles aufgetragen wird. Zu diesem Zeitpunkt wird das Eindringeneiner Blase soweit wie möglichunterdrück.Es wird somit das verflüssigteMaterial mit der reduzierten Blase auf die Oberfläche desblattförmigenTeiles übertragen.Es wird dann das verflüssigteMaterial in das Loch gemäß dem Schrittdes Verfüllensdes verflüssigtenMaterials eingefüllt.Demzufolge verbleibt keine Blase in dem Loch zurück, welches mit dem verflüssigtenMaterial gefülltist und auf der Oberfläche desblattförmigenTeiles angeordnet ist.
    [0013] Inbevorzugter Weise umfaßtder Schritt gemäß dem Auftragendes verflüssigtenMaterials auch einen Schritt gemäß Einstellender Dicke des verflüssigtenMaterials in eine vorbestimmte Dicke mit Hilfe eines Dickensteuergliedesin Verbindung mit dem verflüssigtenMaterial, welches auf der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle anhaftet.Das Dickensteuerglied liegt der Rollenoberfläche gegenüber. In diesem Fall erweitertdas Dickensteuerglied das verflüssigteMaterial zu einer dünnenForm, welches auf die Oberflächedes blattförmigenTeiles zuzuführenist, indem es an der Rollenoberfläche anhaftet. Es kann dahereine feine Blase, die in dem verflüssigten Material invol viertist, beseitigt werden, und zwar entsprechend dem Ausdehnungseffektdes mit Unterdruck versehenen zweiten abgeschlossenen Raumes. Demzufolgewird die Blase in dem verflüssigten Material,welches auf die Oberflächedes blattförmigenTeiles zu übertragenist und unmittelbar zuvor eingefülltwurde, stark reduziert.
    [0014] Dasoben erläuterteVerfahren wird in einem Fall noch effektiver, bei dem das verflüssigte Material eineViskositätbesitzt gleich oder größer als50 Pa·s. DasverflüssigteMaterial mit einer hohen Viskosität gleich mit oder größer als50 Pa·sinvolviert einfach eine Blase. Wenn die Blase einmal in das verflüssigte Materialinvolviert ist, kann die Blase nicht einfach entfernt werden. UnterAnwendung des Verfahrens zum Verfüllen des verflüssigtenMaterials gemäß der vorliegendenErfindung kann die Blase jedoch effektiv aus dem oben erläutertenverflüssigtenMaterial mit der hohen Viskositätbeseitigt werden, das heißt ausdem verflüssigtenMaterial, welches auf die eine Oberfläche des blattförmigen Teilesaufzutragen ist. Daher verbleibt keine Blase in dem Loch, welchesmit dem verflüssigtenMaterial gefülltist.
    [0015] Inbevorzugter Weise umfaßtder Schritt gemäß der Verschiebungdes Loches zusammen mit dem blattförmigen Teil einen Schritt gemäß der Verschiebungdes blattförmigenTeiles relativ zu dem ersten und dem zweiten abgeschlossenen Raumin der Richtung senkrecht zur Drehachse der Übertragungsrolle. Selbst wennin diesem Fall das blattförmigeTeil mehrere Löcheraufweist und groß ist,kann das verflüssigteMaterial in einfacher Weise und stetig in die Löcher eingefüllt werden, indem lediglich dasblattförmigeMaterial und der erste und der zweite abgeschlossene Raum relativin einer Richtung senkrecht zur Drehachse der Übertragungsrolle verschobenwird oder werden.
    [0016] Fernerumfaßtdie Füllvorrichtungzum Verfülleneines verflüssigtenMaterials in ein Loch mit einem Boden, das heißt ein Loch, welches auf einer Oberfläche einesblattförmigenTeiles angeordnet ist, folgendes: eine Vakuumkammer mit einem hohen Vakuumund welche in Berührungmit einer Oberflächedes blattförmigenTeiles steht; eine Füllkammer, welchedie eine Oberflächedes blattförmigenTeiles berührt,die benachbart der Vakuumkammer angeordnet ist und ein niedrigesVakuum aufweist, wel ches niedriger ist als dasjenige der Vakuumkammer; undeine Einrichtung zum Verschieben des blattförmigen Teiles und der Vakuum-und Füllkammernrelativ in einer horizontal Richtung parallel zu der einen Oberfläche desblattförmigenTeiles. Die Füllkammer akkumuliertdas verflüssigteMaterial zum Verfüllen desverflüssigtenMaterials in das Loch, welches einen Boden aufweist. Die Füllkammerenthältferner eine Übertragungsrolleund eine Füll-Quetschvorrichtung.Die Übertragungsrolleist drehbar und dafürgeeignet, einen Teil des verflüssigtenMaterials, welches sich in der Füllkammerangesammelt hat, auf die eine Oberfläche des blattförmigen Teileszuzuführen,indem nämlichdieser Teil des verflüssigtenMaterials auf einer Rollenoberflächeder Übertragungsrolleanhaftet, so daß derTeil des verflüssigtenMaterials auf die eine Oberflächedes blattförmigenTeiles mit Hilfe der Übertragungsrolle übertragenwird. Die Füll-Quetschvorrichtungist dafürausgelegt, um den Teil des verflüssigtenMaterials, der auf die eine Oberfläche des blattförmigen Teiles übertragenwurde, in das Loch mit dem Boden einzuquetschen und dieses zu füllen.
    [0017] Diezuvor erläuterteEinrichtung ist dafürausgebildet, um Luft in dem Loch mit dem Boden zu evakuieren, undzwar in der Unterdruck-Vakuumkammer, bevor das verflüssigte Materialin das Loch mit dem Boden eingefülltwird, welches auf der einen Oberfläche des blattförmigen Teilesangeordnet ist. Ferner wird das verflüssigte Material in der Füllkammergesammelt, welches sich auf Unterdruck befindet, und zwar gemäß einemGrad eines Vakuums, der niedriger liegt als derjenige der Vakuumkammer.Da die Füllkammerso ausgeführtist, daß siebenachbart der Vakuumkammer gelegen ist, kann das Loch mit dem Boden,bei dem die inseitige Luft, in der Vakuum evakuiert wird, zu derFüllkammerverschoben werden, wobei das verflüssigte Material, welches sichdarin angesammelt hat, zur Wirkung gelangt, und zwar unter Verwendungeiner Einrichtung zum Verschieben.
    [0018] Fernerwird das verflüssigteMaterial, welches sich in der Füllkammerangesammelt hat, auf die eine Oberfläche des blattförmigen Teilesaufgebracht. Da hierbei die Füllkammerauf Unterdruck gebracht ist, wird das Involvieren von Luft auf einMinimum begrenzt, so daß eineBlasenbildung reduziert wird. Die Blase wird in das verflüs sigte Materialinvolviert, welches auf die eine Oberfläche aufzutragen ist. Es wirdsomit das verflüssigteMaterial, in welcher die Blasenbildung reduziert ist, auf die Oberfläche desblattförmigenTeiles aufgetragen. Es wird dann das verflüssigte Material in das Lochmit dem Boden gefüllt,und zwar durch Einfüllenmit Hilfe der Quetschvorrichtung. Demzufolge verbleibt keine Blasein dem verflüssigtenMaterial zurück,welches in das Loch mit dem Boden eingefüllt ist und welches auf dereinen Oberflächedes blattförmigenTeiles angeordnet ist.
    [0019] Dieoben genannte Aufgabe und andere Ziele, Merkmale und Vorteile dervorliegenden Erfindung ergeben sich klarer aus der folgenden detaillierten Beschreibungunter Hinweis auf die beigefügten Zeichnungen.In den Zeichnungen zeigen:
    [0020] 1A eine Draufsicht auf einblattförmiges Teilals ein Füllobjektfür einverflüssigtesMaterial gemäß einerbevorzugten Ausführungsformder vorliegenden Erfindung, wobei die 1B und 1C vergrößerte perspektivische Teilansichtenwiedergeben, die das blattförmigeTeil darstellen, und zwar vor und nachdem das verflüssigte Materialeingefülltist bzw. wurde;
    [0021] 2A eine perspektivischeAnsicht, welche die gesamte Füllvorrichtungdarstellt, mit der ein Verfahren zum Verfüllen des verflüssigtenMaterials gemäß der bevorzugtenAusführungsformdurchgeführt wird,wobei 2B eine schematischevergrößerte Querschnittsansichtzeigt, die die Umgebung eines Füllkopfesdarstellt;
    [0022] 3 eine vergrößerte Querschnittsansicht, welchedie Art und Weise erläutert,wie eine Metallpaste in ein Loch eines blattförmigen Teiles unter Verwendungder Füllvorrichtung,die in den 2A und 2B gezeigt ist, eingefüllt; und
    [0023] 4A eine Querschnittsansicht,welche die Pastenfüllvorrichtunggemäß dem Standder Technik wiedergibt, und wobei die 4B und 4C vergrößerte Querschnittsansichtenzeigen, welche die An und Weise erläutern, wie eine Paste in einBlindloch gefülltwird, und zwar unter Verwendung der Pastenfüllvorrichtung, die in 4A gezeigt ist.
    [0024] Die 1A bis 1C zeigen ein blattförmiges Teil mit einem Loch,welches auf einer Oberflächedesselben angeordnet ist. Das blattförmige Teil bildet ein Füllobjektfür einverflüssigtesMaterial. 1A ist eineDraufsicht, die ein blattförmigesTeil 11, 11a wiedergibt. 1B ist eine vergrößerte perspektivische Teilansicht,die eine detaillierte Konstruktion des blattförmigen Teiles 11 darstellt,bevor das verflüssigteMaterial darin eingefülltwurde. 1C ist eine vergrößerte perspektivischeTeilansicht, die das blattförmigeTeil 11 veranschaulicht, nachdem das verflüssigte Materialin dieses eingefülltwurde.
    [0025] DasblattförmigeTeil 11, 11a, welches in den 1A bis 1C gezeigtist, wird in geeigneter Weise in Verbindung mit einem Herstellungsverfahrenfür eine Vielschicht-Schaltungsplatineverwendet. Das blattförmigeTeil besitzt ein Blindloch 11h, und zwar in Form einesLoches, welches einen Boden besitzt. Eine Metallpaste 20 alsverflüssigtesMaterial wird in das Blindloch 11h eingefüllt.
    [0026] In 1B bezeichnet das Bezugszeichen 11 einHarzblatt, welches aus thermoplastischem Harz hergestellt ist. Spezifischerausgedrückt,ist das Harzblatt 12 aus Polyetheretherketonharz hergestellt,und zwar mit 65 bis 35 Gew.-%, und aus Polyetherimidharz gemäß 35 bis65 Gew.-% hergestellt. Die Dicke des Harzmaterials liegt in einemBereich zwischen 25 μmund 75 μm.Ein leitendes Muster 13 ist auf einer Oberfläche desHarzblattes 12 ausgebildet. Das leitende Muster 13 wirdin solcher Weise vorbereitet, daß eine leitende Folie, wiebeispielsweise eine Kupferfolie oder eine Aluminiumfolie auf der einenOberflächedes Harzblattes 10 befestigt wird und dann die leitendeFolie in ein Muster gebracht wird.
    [0027] EinPaar von Schutzfilmen 14, 15 ist so angebracht,daß siedas Harzblatt 12 und das leitende Muster 13 einfassen.Die Schutzfilme 14, 15 sind aus Polyethylenterephthalathergestellt. Die Schutzfilme 14, 15 schützen dasHarzblatt 12 und das leitende Muster 13 vor einerBeschädigungbei einem später nochbeschriebenen Füllprozeß einerMetallpaste. Ferner schützendie Schutzfilme 14, 15 das Harzblatt 12 unddas leitende Muster 13 vor einer Verunreinigung mit derMetallpaste 20. Ein blattförmiges Teil 11 miteiner Gesamtdicke in einem Bereich zwischen 150 μm und 250 μm besitzt eine hohe Flexibilität.
    [0028] Aufder Oberflächedes blattförmigenTeiles 11 ist ein feines Loch (das heißt ein Blindloch in Form einesLoches mit einem Boden) 11h an einer Position angeordnet,die zwischen die Schichten in einer Vielschicht-Schaltungsplatineanzuschließenist. Das Blindloch 11h besitzt einen Durchmesser von etwa 100 μm und dringtin den Schutzfilm 14 und das Harzblatt 12 einund besitzt einen Boden aus dem leitenden Muster 13. DasBlindloch 11h wird durch Bestrahlen mit einem Kohlenstoffdioxidgaslaserstrahl vonoben her in 1B ausgebildet.
    [0029] DieMetallpaste 20 bildet ein verflüssigtes Material und wird indas Blindloch 11h des blattförmigen Teiles 11,welches in 1B gezeigtist, unter Anwendung eines noch später zu beschreibenden Verfahrenszum Verfüllenvon verflüssigtemMaterial und mit Hilfe einer Füllvorrichtungeingefüllt.Die Metallpaste 20 wird in solcher Weise vorbereitet, daß Metallpulveraus Silber und Zinn, ein Bindeharz und ein organisches Lösungsmittelgemischt werden und zu einer Paste verarbeitet werden. Im allgemeinen besitztdie Metallpaste 20 eine höhere Viskosität, da dieLeitfähigkeitder Metallpaste 20 höherwird. Dies ist deshalb der Fall, da der Metallfüllgehalt in der Paste 20 erhöht ist.
    [0030] DieMetallpaste 20, die in das Blindloch 11h des blattförmigen Teiles 11,welches in 1B gezeigtist, einzufüllenist, besitzt eine Viskositätvon 200 Pa·s,was eine vergleichsweise hohe Viskosität ist, und zwar verglichenmit einer gewöhnlichenMetallpaste mit einer Viskositätvon 20 Pa·s.Die Metallpaste 20, die aus Silber und Zinn gebildet ist,erfordert eine Sinterung unter Druck. Selbst wenn daher die Metallpaste 20 eine unsichtbareBlase enthältmit Abmessungen von mehreren 10 μm,kann die Blase eine entscheidende Verkürzung beim Einfüllen der Metallpasteverursachen, wenn die Metallpaste 20 in das Blindloch 11h miteinem Durchmesser von 100 μmeingefülltwird. Es ist daher erforderlich, die Paste 20 ohne jeglicheBlase einzufüllen.
    [0031] 1C zeigt ein blattförmiges Teil 11a,nachdem Schutzfilme 14, 15 entfernt worden sindund eine Metallpaste 20 in das Blindloch 11h eingefüllt wurde.Die Metallpaste 20 wird in das Blindloch 11h mitdem Boden des leitenden Musters 13 eingefüllt undes werden dann viele blattförmigeTeile 11a zu einem Laminat verbunden und miteinander gebondet, undzwar durch Anwenden von Hitze und Druck, so daß eine Viellagen-Schaltungsplatinehergestellt wird.
    [0032] Wiein 1A gezeigt ist, enthält das große eineblattförmigeTeil 11 vielfache Schaltungsmuster 11p, von denenjedes das gleiche leitende Muster (nicht gezeigt) aufweist und auchdas gleiche Blindloch 11h bzw. Blindlochmuster aufweist.Die Schaltungsmuster 11p werden wiederholt ausgebildet. Nachdemviele blattförmigeTeile 11a zu einem Laminat zusammengefügt und aneinander gebundenwurden, wie oben beschrieben ist, werden die Schaltungsmuster 11p ausgeschnitten,so daß dadurch Vielfach-Mehrschicht-Schaltungsplatinenvorgesehen werden.
    [0033] Die 2A und 2B zeigen eine Verfüllvorrichtung 30 zumDurchführeneines Verfahrens zum Verfüllendes verflüssigtenMaterials gemäß der vorliegendenAusführungsformnach der Erfindung. 2A isteine perspektivische Ansicht, welche die gesamte Verfüllvorrichtung 30 zeigt. 2B ist eine schematischevergrößerte Querschnittsansicht,die den Bereich um einen Füllkopf 32 zeigt.
    [0034] Beider Füllvorrichtung 30,die in den 2A und 2B gezeigt ist, ist das dargestellteblattförmige Teil 11 in 1B umgekehrt angeordnet,so daß das Blindloch 11b vertikalnach unten zeigt. Dabei wird das blattförmige Teil 11 miteiner bewegbaren Klemme 31 in Lage gehalten. Hierbei werdenzur Vereinfachung der zeichnerischen Darstellung das leitende Muster 13 undder Schutzfilm 15 als eine Schicht beschrieben.
    [0035] Inden 2A und 2B bezeichnet ein Bezugszeichen 32 denFüllkopf.Der Füllkopf 32 enthält eineVakuumkammer 1s und eine Verfüllkammer 2s. Die Vakuumkammer 1s unddie Verfüllkammer 2s berühren dieOberflächedes blattförmigenTeiles 11 von der vertikalen Unterseite des blattförmigen Teiles 11 her.
    [0036] DieVakuumkammer 1s liefert den ersten abgeschlossenen Raumin solcher Weise, daß derFüllkopf 32 dieOberflächedes blattförmigenTeiles 11 berührt.Die Vakuumkammer 1s wird dekomprimiert (das heißt evakuiert),und zwar auf ein hohes Vakuum, was mit Hilfe einer Vakuumpumpe 40 und über einVentil 41b erfolgt. Die Füllkammer 2s ist benachbartder Vakuumkammer 1s angeordnet. Der Füllkopf 32 berührt dieOberflächedes blattförmigenTeiles 11 in solcher Weise, daß der zweite geschlossene Raumerzeugt wird. Die Füllkammer 2s wirddekomprimiert, so daß sieein niedriges Vakuum erreicht, welches niedriger ist als dasjenigein der Vakuumkammer 1s (das heißt das Vakuum in der Vakuumkammer 1s isthöher alsdasjenige in der Füllkammer 2s).Die Metallpaste 20 wird als verflüssigtes Material an der vertikalenUnterseite der Füllkammer 2s angesammelt(das heißtgespeichert).
    [0037] Inder Füllkammer 2s sindeine Übertragungsrolle 33 undein Füll-Quetscher 34 angeordnet, umdie Metallpaste 20 in das Blindloch 11h einzufüllen, welchesan der Oberflächedes blattförmigenTeiles 11 angeordnet ist. Die Übertragungsrolle 33 dreht sich,so daß die Übertragungsrolle 33 dieMetallpaste 20 auf die Oberfläche des blattförmigen Teiles 11 überträgt, indemnämlichdie Metallpaste 20 auf der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle 33 anhaftet. Eswird dann die Metallpaste 20 auf die Oberfläche desblattförmigenTeiles 11 übertragenund auf dieser aufgebracht, was durch die Übertragungsrolle 33 erfolgt.Die Füll-Quetschvorrichtung 34 sorgtfür das Füllen undEinquetschen der Metallpaste 20 in das Blindloch 11h,und zwar in stetiger Weise, wobei die Metallpaste auf die Oberfläche desblattförmigenTeiles 11 durch die Übertragungsrolle 33 übertragen wird.In der Füllkammer 2s isteine die Dicke steuernde Rolle 35 angeordnet. Die die Dickesteuernde Rolle 35 ist parallel zu der Übertragungsrolle 33 gelegen. Diedie Dicke steuernde Rolle 35 liegt der Oberfläche der Übertragungsrolle gegenüber, sodaß dieDicke der Metallpaste 20, die auf der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle 33 anhaftet,auf eine vorbestimmte Dicke eingestellt wird. Die die Dicke steuerndeRolle 35 kombiniert mit der Übertragungsrolle 33 wirdin solcher Weise verwendet, daß dieMetallpaste 20 stetig nach oben geschöpft wird, wobei die Metallpaste 20 ander vertikalen Unterseite der Füllkammer 2s angesammeltwird. Es wird somit die Dickensteuerung der Metallpaste 20,die an der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle 33 anhaftet,in präziserWeise gesteuert.
    [0038] DerFüllkopf 32,der in 2B gezeigt ist, enthält die zweiteVakuumkammer 3s, die benachbart zu der Füllkammer 2s angeordnetist. Die zweite Vakuumkammer 3s ist symmetrisch gegenüber der Vakuumkammer 1s angeordnet.Die zweite Vakuumkammer 3s hat die gleiche Funktion wiedie Vakuumkammer 1s, wenn der Füllkopf 32 zu einerRichtung entgegengesetzt zu einer Richtung Y (das heißt einer Füllkopfbewegungsrichtung)eines in 2B gezeigtenPfeiles bewegt wird, so daß dieMetallpaste 20 eingefülltwird. Wenn die Metallpaste 20 zusammen mit der Bewegungdes Füllkopfesin der Richtung Y, die in 2B gezeigtist, eingefülltwird, wird das Ventil 43b geschlossen, so daß die zweiteVakuumkammer 3s unter atmosphärischem Druck gehalten wird.Hierbei bezeichnet in 2B einBezugszeichen 36 eine Vakuumpackung. Die Vakuumpackung 36 wirdzusammen mit der Einfüll-Quetschvorrichtung 34 verwendet,so daß dieVakuumkammer 1s, die Füllkammer 2s unddie zweite Vakuumkammer 3s jeweils einen Druck aufrechterhalten. Es wird somit der Druck in jeder Kammer 1s, 2s, 3s desFüllkopfes 32 durchdie Ventile 41b, 42b, 43b umgeschaltet,so daß dieFüllvorrichtung 30,die in 2A und in 2B gezeigt ist, dafür Sorgeträgt,die Metallpaste 20 durch eine hin und her verlaufende Operationeinzufüllen.
    [0039] Ausder vorangegangenen Beschreibung ergibt sich in offensichtlicherWeise, daß sichdas metallförmigeBlatt 11 in einem solchen Zustand befindet, daß das blattförmige Teil 11 aufVakuum gehalten wird und durch die Vakuumkammer 1s unddie Füllkammer 2s desFüllkopfes 32 gehaltenwird, währenddie Metallpaste 20 eingefüllt wird.
    [0040] Beider Füllvorrichtung 30,die in 2A und 2B gezeigt ist, ist eineHalterolle 37 parallel zu der Übertragungsrolle 33 angeordnet.Die Halterolle 37 berührtdie andere Oberflächegegenüberder einen Oberflächedes blattförmigenTeiles 11, also der einen Oberfläche, auf welcher die Vakuumkammer 1s unddie Füllkammer 2s eineBerührungbilden. Die Halterolle 37 zusammen mit der Übertragungsrolle 33 fassendas blattförmigeTeil 11 ein, so daß das blattförmige Teil 11 festgehaltenwird. Die Halterolle 37 ist für den Zweck vorgesehen, umdie Übertragungder Metallpaste 20 auf die Oberfläche des blattförmigen Teiles 11 zustabilisieren. Es kann somit die Dicke der Metallpaste 20,die übertragenwird, in einheitlicher Weise gesteuert werden. Hierbei wird das blattförmige Teil 11 durcheinen Differenzdruck gehalten, und zwar zwischen dem Druck in jederder Vakuum- und Füllkammernund dem Außenseitendruck. Eskann daher die Halterolle 37 auch weggelassen werden.
    [0041] Beider Füllvorrichtung 30,die in 2A gezeigt ist,bewegen sich der Füllkopf 32 unddie Halterolle 37 zusammen entlang einer Schiene 38 ineiner Richtung (in einer Links- und Rechtsrichtung X) senkrechtzu einer Drehachse der Übertragungsrolle 33 undin einer horizontalen Richtung parallel zur Oberfläche desblattförmigenTeiles 11. Jedoch sind der Füllkopf 32 und dieHalterolle 37 feststehend und es kann das blattförmige Teil 11 ineiner Links- und Rechtsrichtung X in 2A verschobenwerden. Selbst wenn bei der Füllvorrichtung 30,die in 2A gezeigt ist,das blattförmigeTeil 11 groß ist,wird die Metallpaste 20 unmittelbar und stetig eingefüllt, und zwarlediglich durch Bewegen des Füllkopfes 32 relativzu dem blattförmigenTeil 11, wobei der Füllkopf 32 diegleiche Breite wie das blattförmigeTeil 11 hat. Ferner wird die Weite oder Breite des Füllkopfes 32 schmal,um den Füllkopf 32 aneinem Roboter montieren zu können,der auf einer Ebene bewegbar ist, so daß der Roboter mit dem Füllkopf 32 sichauf der Oberflächedes blattförmigenTeiles 11 in einer kontrollierten Weise bewegen kann. Somitkann die Metallpaste 20 teilweise in einen Teil der Oberfläche des blattförmigen Teiles 11 gefüllt werden.Obwohl das blattförmigeTeil 11 mit Hilfe der Klemme 31 festgehalten wird,wie dies in 2A dargestelltist, kann das blattförmigeTeil 11 auch durch ein Rollenblatt ausgetauscht werdenund es kann der Füllkopf 32 so befestigtwerden, daß dasRollblatt, an welchem das Einfüllender Paste 20 bereits vor genommen wurde, auf die Halterolle 37 gewickeltwird. In diesem Fall kann ein rollenförmiges Blatt mit einer großen Länge realisiertwerden, welches kontinuierlich gefüllt wird.
    [0042] 3 zeigt eine vergrößerte Querschnittsansicht,die einen Zustand erläutertgemäß Einfüllen derMetallpaste 20 in das Blindloch 11h des blattförmigen Teiles 11.Das Verfahren zum Einfüllendes verflüssigtenMaterials gemäß der vorliegendenAusführungsformwird im folgenden unter Verwendung und Hinweis auf die vergrößerte Querschnittsdarstellungvon 3 beschrieben.
    [0043] Beidem Verfahren gemäß dem Verfüllen des verflüssigtenMaterials gemäß der vorliegendenAusführungsformwird zuerst die entschäumteMetallpaste 20 herabtropfen gelassen und wird in der Füllkammer 2s desFüllkopfes 32 gesammelt.Dann wird der Füllkopf 32 aufdie Oberflächedes blattförmigenTeiles 11 aufgesetzt und mit dieser in Berührung gebracht,und zwar von der vertikalen Unterseite her, so daß ein Öffnungsabschnittdes Füllkopfes 32 verschlossenwird. Somit bildet die Vakuumkammer 1s des Füllkopfes 32 denersten abgeschlossenen Raum mit einer oberen Abdeckung der Oberfläche desblattförmigenTeiles 11. Daher wird die Vakuumkammer 1s zu demersten abgeschlossenen Raum und es wird dann die Vakuumkammer 1s dekomprimiert,so daß sieein hohes Vakuum erreicht (z.B. –0,1 MPa). Somit wird das Blindloch 11h inder Vakuumkammer 1s positioniert, und zwar vor dem Einfüllen derPaste 20 in dasselbe, und wird mit hohem Vakuum evakuiert.
    [0044] DieFüllkammer 2s benachbartder Vakuumkammer 1s bildet den zweiten abgeschlossenen Raummit einer oberen Abdeckung in Form der Oberfläche des blattförmigen Teiles 11.Die Füllkammer 2s wirdzu dem zweiten abgeschlossenen Raum und es wird dann die Füllkammer 2s dekomprimiert,so daß sieein niedriges Vakuum erreicht (z.B. –0,06 MPa), welches niedrigerist als dasjenige der Vakuumkammer 1s, und zwar in einersolchen Weise, daß dasLösungsmittelder Metallpaste 20, die sich in der Füllkammer 2s angesammelthat, nicht verdampft und sich die Viskosität der Metallpaste 20 nicht ändert.
    [0045] Alsnächsteswird der Füllkopf 32 inder FüllkopfbewegungsrichtungY verschoben, wie in 3 gezeigtist, so daß dasBlindloch 11h zur Nachbarschaft der Füllkammer 2s hin verschobenwird, und zwar unter Aufrechterhaltung des Vakuumzustandes des Blindloches 11h,dessen Innenseite dekomprimiert wird, und zwar in der Vakuumkammer 1s.
    [0046] Wennder Füllkopf 32 verschobenwird, dreht sich die Übertragungsrolle 33,die in der Füllkammer 2s angeordnetist, auf Grund einer Reibungskraft zwischen dem blattförmigen Teil 11 undder Übertragungsrolle 33.Ferner dreht sich auch die Dickensteuerrolle 35, die ander Flächebzw. Oberflächeder Übertragungsrolle 33 angeordnetist, ebenfalls auf Grund einer Reibungskraft zwischen der Dickensteuerrolle 35 undder Übertragungsrolle 33 über dieMetallpaste 20. Die Metallpaste 20, die sich ander vertikalen Unterseite der Füllkammer 2s angesammelt hat,haftet an der Rollenoberflächeder Dickensteuerrolle 35 an, die unter der Übertragungsrolle 33 angeordnetist, so daß dieMetallpaste 20 stetig durch die Dickensteuerrolle 35 nachoben geschöpftwird. Das nach oben Schöpfender Metallpaste 20 verläuftzwischen der Übertragungsrolle 33 undder Dickensteuerrolle 35, so daß die Dicke der Metallpaste 20 präzise aufeine vorbestimmte Dicke eingestellt wird. Es wird somit die Metallpaste 20,deren Dicke gesteuert wird, auf die Oberfläche des blattförmigen Teiles 11 zugeführt, wobeidiese an der Rollenoberflächeder Übertragungsrolle 33 anhaftet.Es wird dann die Metallpaste 20 glatt und fortwährend aufdie Oberfläche desblattförmigenTeiles 11 vermittels der Übertragungsrolle 33 aufgebracht.Zu diesem Zeitpunkt des Aufbringens der Metallpaste 20 istdas blattförmige Teil 11 zwischender Übertragungsrolle 33 undder Halterolle 37 eingefaßt, so daß die Metallpaste 20 auf dieOberflächedes blattförmigenTeiles 11 in einheitlicher Dicke übertragen wird. Hierbei kanndie Dicke der Metallpaste 20, die an der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle 33 anhaftet,dadurch gesteuert werden, indem der Abstand zwischen einem Quetscher,der an der Flächeder Rollenflächeder Übertragungsrolle 33 angeordnetist, und der Rollenoberflächegeändertwird.
    [0047] Beidem oben erläuterten Übertragungsprozeß der Metallpaste 20 sammeltsich die Metallpaste 20 an der vertikalen Unterseite derFüllkammer 2s an undwird sanft oder gleichmäßig durchDrehen der Dickensteuerrolle 35 und der Übertragungsrolle 33 eingequetscht,so daß dieMetallpaste 20 auf die Oberfläche des blattförmigen Teiles 11 zugeführt wird.Es muß daherdie Metallpaste 20, die sich an der vertikalen Unterseiteder Füllkammer 2s ansammelt, nicht übermäßig verflüssigt werden.Da ferner die Füllkammer 2s dekomprimiertwird, und zwar auf ein erforderliches Minimum, wird die Luft starkeingeschränkt,die in der Metallpaste 20 involviert wird, und zwar aufein Minimum eingeschränkt.Demzufolge wird das Ausmaß derBlasenbildung einer Blase 20v, die in der Metallpaste 20 involviertist, ebenfalls auf ein Minimum unterdrückt. Ferner wird die Metallpaste 20,die an der Rollenoberflächeder Übertragungsrolle 33 anhaftet,dünn mitHilfe der Dickensteuerrolle 35 ausgeweitet. Die dünne ausgeweiteteMetallpaste 20 wird entschäumt, wie in 3 gezeigt ist. Dies ist deshalb der Fall,da die Füllkammer 2s dekomprimiertist, so daß diefeine Blase 20v, die in der Metallpaste 20 zurück bleibt,ausgeweitet wird und entschäumtwird, entsprechend 20e. Es wird daher in der Metallpaste 20 vorder Übertragungund dem Verfüllenan der Oberflächedes blattförmigenTeiles 11 der Inhalt der Blase 20v auf ein Minimumreduziert oder begrenzt.
    [0048] Alsnächsteswird der Füllkopf 32 verschoben,so daß dieMetallpaste 20 auf die Oberfläche des blattförmigen Teiles 11 übertragenwird und in das Blindloch 11h eingequetscht wird und diesesfüllt, undzwar unter Verwendung des Einfüll-Quetschers 34,welcher in der Füllkammer 2s angeordnetist. Der Füll-Quetscheroder -Quetschvorrichtung 34 ist so montiert, daß dieseeinen geeigneten Winkel in bezug auf die Oberfläche des blattförmigen Teiles 11 bildet.Somit wird die Metallpaste 20 in das Blindloch 11h eingefüllt. Fernerwird überschüssige Metallpaste 20,die auf der Oberflächedes blattförmigenTeiles 11 vorhanden ist, abgeschabt und beseitigt. Dieabgeschabte und beseitigte Metallpaste 20 kehrt zum Bodender Füllkammer 2s zurück. Somitwird die Metallpaste 20 recycelt und kann wieder verwendetwerden.
    [0049] Beidem oben erläutertenVerfüllprozeß wird dieMetallpaste 20, in welcher das Ausmaß der oben beschriebenen Blase 20v aufein Minimum unterdrücktist, in das dekomprimierte Blindloch 11h eingequetschtund eingefüllt.Demzufolge verbleibt die Blase 20v nicht in der Metallpaste 20,die in das Blindloch 11h eingefüllt wird.
    [0050] Wieoben beschrieben wurde, besitzt die Metallpaste 20 eineViskositätvon 200 Pa·s,was eine vergleichsweise hohe Viskosität ist, und zwar verglichenmit der gewöhnlichenMetallpaste mit einer Viskositätvon 20 Pa·s.Das oben erläuterteVerfahren zum Verfüllender Metallpaste 20 ist in einem Fall effektiver, bei demdie Metallpaste 20 eine Viskosität gleich mit oder größer als50 Pa·saufweist. Die Metallpaste 20 mit der hohen Viskosität, die gleichist mit oder größer istals 50 Pa·s,involviert in einfacher Weise die Blase 20v. Wenn die Blase 20v einmalin der Metallpaste 20 involviert ist, kann die Blase 20v nichtin einfacher Weise entfernt werden. Bei Verwendung des oben erläutertenVerfahrens zum Verfüllender Metallpaste 20, kann jedoch die Blase 20v effektivaus der Metallpaste 20 beseitigt werden, die auf das blattförmige Teil 11 zu übertragenist. Daher verbleibt keine Blase 20v in dem Blindloch 11h zurück, welchesmit der Metallpaste 20 gefüllt ist. Indem man demzufolgedie Metallpaste 20, die in das Blindloch 11h eingefüllt ist,ohne jegliche Blase 20v verwendet, wird ein Verbindungsleitermit hoher Leitfähigkeitund hoher Zuverlässigkeitgeschaffen.
    [0051] Somitsind die Füllvorrichtungund das Verfahren zum Verfüllendes verflüssigtenMaterials gemäß der obenbeschriebenen vorliegenden Ausführungsform,bei der das verflüssigteMaterial in das Blindloch 11h eingefüllt wird, welches auf der Oberfläche desblattförmigenMaterials 11 angeordnet ist, ohne das Verbleiben irgendeinerBlase möglich.
    [0052] Obwohldie eine Oberflächedes blattförmigenTeiles 11, welche das Blindloch 11h enthält, so angeordnetist, daß diesevertikal nach unten gerichtet ist, und obwohl der Füllkopf 32 unterdem blattförmigenMaterial 11 angeordnet ist, kann die eine Oberfläche, diedas Blindloch 11h enthält,auch direkt vertikal nach oben hin angeordnet sein und es kann dannder Füllkopf 32 über demblattförmigenTeil 11 angeordnet sein. In diesem Fall wird in Erwägung gezogen,daß dieGestalt des Füllkopfes 32 teilweise abgeändert wird,um die Metallpaste 20 in der Füllkammer 2s anzusammeln.
    [0053] Solche Änderungenund Abwandlungen fallen jedoch in den Rahmen der vorliegenden Erfindung,wie dieser durch die anhängendenAnsprüche festgelegtist.
    权利要求:
    Claims (23)
    [1] Verfahren zum Verfüllen eines verflüssigten Materialsin ein Loch (11h) mit einem Boden, wobei das Loch (11h)auf einer Oberflächeeines blattförmigenTeiles (11, 11a) angeordnet ist, welches Verfahrendie folgenden Schritte umfaßt: Dekomprimiereneines ersten abgeschlossenen Raumes (1s), der an einerersten Zone ausgebildet ist, die an einem vorbestimmten Abschnittder einen Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) angeordnet ist, wobei das Loch(11h) mit dem Boden auf der einen Oberfläche desblattförmigenTeiles (11, 11a) angeordnet ist; Dekomprimiereneines zweiten abgeschlossenen Raumes (2s), der an einerzweiten Zone ausgebildet ist, die an einem anderen vorbestimmtenAbschnitt der einen Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) angeordnet ist, wobei die zweiteZone benachbart der ersten Zone gelegen ist, der zweite abgeschlosseneRaum (2s) das verflüssigteMaterial sammelt und wobei der Grad eines Vakuums in dem zweitenabgeschlossenen Raum (2s) niedriger ist als derjenige indem ersten abgeschlossenen Raum (1s); Verschiebendes Loches (11h) mit dem Boden zusammen mit dem blattförmigen Teil(11, 11a) von dem ersten abgeschlossenen Raum(1s) zu dem zweiten abgeschlossenen Raum (2s),wobei das Loch (11h) mit dem Boden in dem ersten abgeschlossenen Raum(1s) bei dem Dekomprimierungsschritt des ersten abgeschlossenenRaumes (1s) dekomprimiert wird; Aufbringen des verflüssigtenMaterials auf die Oberflächeder zweiten Zone des blattförmigenTeiles (11, 11a), entsprechend dem verflüssigtenMaterial, welches sich in dem zweiten abgeschlossenen Raum (2s)angesammelt hat; und Verfüllendes verflüssigtenMaterials in das Loch (11h) mit dem Boden, wobei das verflüssigte Material aufdie Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) aufgebracht wird.
    [2] Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die eineOberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a), auf der das Loch (11h)mit dem Boden angeordnet ist, direkt vertikal nach unten weisendangeordnet ist, und bei dem der erste und der zweite abgeschlossene Raum(1s, 2s) vertikal unter der ersten und der zweitenZone jeweils angeordnet ist.
    [3] Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das verflüssigte Materialan einer vertikalen Unterseite des zweiten abgeschlossenen Raumes(2s) gesammelt wird.
    [4] Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der zweiteabgeschlossene Raum (2s) eine Übertragungsrolle (33)aufweist, wobei der Schritt gemäß dem Auftragen des verflüssigtenMaterials einen Schritt enthält,bei dem das verflüssigteMaterial auf die Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) in solcher Weise zugeführt wird,daß die Übertragungsrolle(33) in Drehung versetzt wird, so daß das verflüssigte Material an der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle(33) anhaftet, und der Schritt gemäß dem Auftragen des verflüssigten Materialsferner einen Schritt enthältgemäß Übertragendes verflüssigtenMaterials auf die Oberfläche desblattförmigenTeiles (11, 11a) vermittels der Übertragungsrolle(33).
    [5] Verfahren nach Anspruch 4, bei dem der Schritt derDekomprimierung des zweiten abgeschlossenen Raumes (2s)einen Schritt enthältgemäß Entschäumen einerBlase (20e), die in das verflüssigte Material eingedrungenist, währenddas verflüssigteMaterial an der Rollenoberflächeder Übertragungsrolle(33) anhaftet, um das verflüssigte Material auf die Oberfläche desblattförmigenTeiles (11, 11a) bei dem Schritt des Aufbringensdes verflüssigtenMaterials zuzuführen.
    [6] Verfahren nach Anspruch 4, bei dem der Schrittgemäß dem Aufbringendes verflüssigtenMaterials ferner einen Schritt enthält gemäß Einstellen einer Dicke desverflüssigtenMaterials auf eine vorbestimmte Dicke mit Hilfe eines die Dickesteuernden Teiles (35), wenn das verflüssigte Material an der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle(33) anhaftet, und bei dem das die Dicke steuerndeTeil (35) der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle (33)gegenüber liegt.
    [7] Verfahren nach Anspruch 6, bei dem, während dieDicke des verflüssigtenMaterials auf eine vorbestimmte Dicke bei dem Schritt des Aufbringensdes verflüssigtenMaterials eingestellt wird, das verflüssigte Material an der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle(33) anhaftet, wobei der zweite abgeschlossene Raum (2s)bei dem Schritt der Dekomprimierung des zweiten abgeschlossenenRaumes (2s) in solcher Weise dekomprimiert wird, daß die Blasenicht in das verflüssigteMaterial eindringt.
    [8] Verfahren nach Anspruch 6, bei dem das die Dickesteuernde Teil (35) aus einer Dickensteuerrolle (35)besteht, die parallel zu der Übertragungsrolle (33)angeordnet ist.
    [9] Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der zweiteabgeschlossene Raum (2s) eine Einfüll-Quetschvorrichtung (34)enthält,und bei dem der Schritt gemäß dem Verfüllen desverflüssigtenMaterials ferner einen Schritt gemäß einem Einquetschen und Einfüllen desverflüssigtenMaterials, welches auf die Oberfläche des blattförmigen Teiles(11, 11a) aufgebracht ist, in das Loch (11h)mit dem Boden mit Hilfe der Einfüll-Quetschvorrichtung (34)enthält.
    [10] Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das verflüssigte Materialeine Viskositätbesitzt, die gleich ist mit oder größer ist als 50 Pa·s.
    [11] Verfahren nach Anspruch 10, bei dem das verflüssigte Materialaus einer Metallpaste besteht.
    [12] Verfahren nach Anspruch 4, bei dem der Schritt gemäß einemVerschieben des Loches (11h) mit dem Boden zusammen mitdem blattförmigenTeil (11, 11a) einen Schritt enthält gemäß einerVerschiebung relativ zu dem blattförmigen Teil (11, 11a)und relativ zu dem ersten und dem zweiten abgeschlossenen Raum (1s, 2s)in einer Richtung senkrecht zu einer Drehachse der Übertragungsrolle(33).
    [13] Verfahren nach Anspruch 4, welches ferner den folgendenSchritt umfaßt:Festhalten des blattförmigenTeiles (11, 11a) durch Einfassen des blattförmigen Teiles(11, 11a) zusammen mit der Übertragungsrolle (33)von der anderen Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a), die der einen Oberfläche desblattförmigenTeiles (11, 11a) gegenüber liegt, das heißt der einenOberfläche,mit welcher der erste und der zweite abgeschlossene Raum (1s, 2s) Berührung haben.
    [14] Verfahren nach Anspruch 13, bei dem der Schrittgemäß dem Festhaltendes blattförmigenTeiles (11, 11a) einen Schritt gemäß Festhaltendes blattförmigenTeiles (11, 11a) mit Hilfe einer Halterolle (37)umfaßt,die parallel zu der Übertragungsrolle (33)angeordnet ist.
    [15] Füllvorrichtungzum Verfülleneines verflüssigtenMaterials in ein Loch (11h) mit einem Boden, wobei dasLoch (11h) auf einer Oberfläche eines blattförmigen Teiles(11, 11a) angeordnet ist und die Vorrichtung folgendesaufweist: eine Vakuumkammer (1s) mit einem hohen Vakuum, welchedie eine Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) berührt; eine Füllkammer(2s), welche die eine Oberfläche des blattförmigen Teiles(11, 11a) berührtund die benachbart der Vakuumkammer (1s) angeordnet ist undein niedriges Vakuum aufweist, welches niedriger ist als dasjenigeder Vakuumkammer (1s); und eine Einrichtung (32, 37, 38)zum Verschieben des blattförmigenTeiles (11, 11a) und der Vakuum- und Füllkammer(1s, 2s) relativ in einer horizontalen Richtungparallel zu der einen Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a), wobei die Füllkammer(2s) das verflüssigteMaterial sammelt, um da verflüssigteMaterial in das Loch (11h) mit dem Boden einzufüllen, dieFüllkammer(2s) ferner eine Übertragungsrolle (33)und eine Füll-Quetschvorrichtung(34) enthält, die Übertragungsrolle(33) drehbar ist und dafür ausgebildet ist, einen Teildes verflüssigtenMaterials, welches sich in der Füllkammer(2s) angesammelt hat, auf die eine Oberfläche desblattförmigenTeiles (11, 11a) zu übertragen, indem ein Teil desverflüssigtenMaterials auf einer Rollenoberflächeder Übertragungsrolle(33) anhaftet, so daß derTeil des verflüssigtenMaterials auf die eine Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) mit Hilfe der Übertragungsrolle (33) übertragenwird, und wobei die Füll-Quetschvorrichtung(34) dafürausgebildet ist, um den Teil des verflüssigten Materials, der aufdie eine Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) übertragen wurde, in das Loch(11h) mit dem Boden hinein zu quetschen und einzufüllen.
    [16] Füllvorrichtungnach Anspruch 15, bei der die eine Oberfläche des blattförmigen Teiles (11, 11a),auf welcher das Loch (11h) mit dem Boden angeordnet ist,direkt vertikal nach unten weisend angeordnet ist, und beider die Vakuumkammer (1s) und die Füllkammer (2s) jeweilsvertikal unter dem blattförmigenTeil (11, 11a) angeordnet sind.
    [17] Füllvorrichtungnach Anspruch 15, bei der das verflüssigte Material an einer vertikalenUnterseite der Füllkammer(2s) angesammelt ist.
    [18] Füllvorrichtungnach Anspruch 15, bei der die Füllkammer (2s) fernerein Dickensteuerteil (35) enthält, um eine Dicke des Teilesdes verflüssigtenMaterials auf eine vorbestimmte Dicke einzustellen, und zwar beidem Teil des verflüssigtenMaterials, der an der Rollenoberfläche der Übertragungsrolle (33)anhaftet, und bei dem das Dickensteuerteil (35) derRollenoberflächeder Übertragungsrolle(33) gegenüberliegt.
    [19] Füllvorrichtungnach Anspruch 18, bei der das Dickensteuerteil (35) auseiner die Dicke steuernden Rolle (35) besteht, die parallelzu der Übertragungsrolle(33) angeordnet ist.
    [20] Füllvorrichtungnach Anspruch 15, ferner mit: einer zweiten Vakuumkammer (3s), wobeidie zweite Vakuumkammer (3s) benachbart der Füllkammer(2s) angeordnet ist und auch gegenüber der Vakuumkammer (1s)angeordnet ist, und wobei die zweite Vakuumkammer (3s)die eine Oberflächedes blattförmigenTeiles (11, 11a) kontaktiert.
    [21] Füllvorrichtungnach Anspruch 15, bei der die Einrichtung (32, 37, 38)zum Verschieben des blattförmigenTeiles (11, 11a) dafür ausgebildet ist, um das blattförmige Teil(11, 11a) und die Vakuum- und Füllkammer(1s, 2s) relativ in einer Richtung zu verschieben,die senkrecht zu einer Drehachse der Übertragungsrolle (33)verläuft.
    [22] Füllvorrichtungnach Anspruch 15, ferner mit: einem Festhalteteil (37), wobeidas Festhalteteil (37) eine gegenüber liegende Oberfläche desblattförmigenTeiles (11, 11a) berührt, die der einen Oberfläche desblattförmigenTeiles (11, 11a) gegenüber liegt, so daß das Festhalteteil(37) das blattförmigeTeil (11, 11a) festhält, indem das blattförmige Teil(11, 11a) zusammen mit der Übertragungsrolle (33)eingefaßtist, und zwar an der einen Oberfläche des blattförmigen Teiles(11, 11a), mit der die Vakuum- und Füllkammer(1s, 2s) jeweils Kontakt haben.
    [23] Füllvorrichtungnach Anspruch 22, bei der das Festhalteteil (37) aus einerFesthalterolle (37) besteht, die parallel zu der Übertragungsrolle(33) angeordnet ist.
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2008-06-19| 8110| Request for examination paragraph 44|
    2011-03-30| R016| Response to examination communication|
    2011-09-30| R018| Grant decision by examination section/examining division|
    2012-08-16| R020| Patent grant now final|Effective date: 20120510 |
    2016-12-01| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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